成分分析：洞察材料本源，掌控工藝起點(diǎn)

• 元素成分與雜質(zhì)分析：采用ICP-MS、GD-MS等高靈敏度設(shè)備，依據(jù) GB/T 14849.4-2014《工業(yè)硅化學(xué)分析方法 第4部分：電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜法測定元素含量》等相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，精準(zhǔn)測定硅、鍺、砷化鎵等材料中的痕量金屬雜質(zhì)。

• 表面污染與潔凈度分析：依據(jù) SEMI 標(biāo)準(zhǔn)及客戶特定要求，使用TOF-SIMS、XPS等手段，分析晶圓表面的有機(jī)、無機(jī)污染物及元素分布。

• 摻雜濃度與分布分析：通過SIMS（二次離子質(zhì)譜）等技術(shù)，依據(jù)相關(guān)行業(yè)規(guī)范，測定硼、磷、砷等摻雜元素的濃度及其縱向分布。

• 材料結(jié)構(gòu)與缺陷分析：利用XRD、TEM、SEM等，依據(jù) GB/T 42676-2023《半導(dǎo)體單晶晶體質(zhì)量的測試 X射線衍射法》等，評估晶體質(zhì)量、晶格缺陷及薄膜結(jié)構(gòu)。

  
  

• 環(huán)境可靠性試驗(yàn)：

• 高溫高濕存儲（THB）：依據(jù) JESD22-A101、GB/T 2423.3。

• 溫度循環(huán)（TC）：依據(jù) JESD22-A104、GB/T 2423.22。

• 高壓蒸煮（PCT）：依據(jù) JESD22-A102。

• 機(jī)械沖擊與振動：依據(jù) JESD22-B103、GB/T 2423.10。

  
  

• 壽命與加速應(yīng)力試驗(yàn)：

• 高溫工作壽命（HTOL）：依據(jù) JESD22-A108。

• 電遷移（EM）測試：依據(jù) JESD22-A105。

• 柵氧完整性（GOI）測試。

  
  

• 失效分析（FA）：當(dāng)產(chǎn)品出現(xiàn)異常或失效時，我們提供從非破壞性分析（X-Ray、C-SAM、OM）到破壞性分析（Decap、FIB、EMMI）的全套解決方案，依據(jù) JESD22-A114 等標(biāo)準(zhǔn)，精準(zhǔn)定位失效點(diǎn)（如EOS/ESD損傷、閂鎖效應(yīng)、金屬遷移等），并分析根本原因。

  
  

1. 儀器平臺：擁有超 1000臺 大型精密儀器，包括高分辨率透射電鏡（HR-TEM）、聚焦離子束（FIB）、二次離子質(zhì)譜（SIMS）、電感耦合等離子體質(zhì)譜（ICP-MS）等，滿足從宏觀到原子尺度的分析需求。

2. 專家團(tuán)隊(duì)：集團(tuán) 700余名 技術(shù)人員中，擁有多名在半導(dǎo)體材料、器件物理及失效分析領(lǐng)域經(jīng)驗(yàn)超過15年的專家，能夠提供從測試方案設(shè)計(jì)到數(shù)據(jù)深度解讀的全鏈條技術(shù)服務(wù)。

3. 全面的資質(zhì)與榮譽(yù)：

• 位列 2021年中國TIC機(jī)構(gòu)50強(qiáng)第22位。

• 榮獲 “2023年度TIC優(yōu)秀第三方檢測機(jī)構(gòu)-堅(jiān)如磐石獎"。

• 成功入選 “2025年陜西省上市后備企業(yè)（B檔）"。

• 被認(rèn)定為 “2023年陜西省瞪羚企業(yè)"。

• 具備認(rèn)證的CMA、CNAS資質(zhì)，報(bào)告國際互認(rèn)。

4. 豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)：已服務(wù)于多家國內(nèi)的半導(dǎo)體材料廠、晶圓代工廠、芯片設(shè)計(jì)公司及封測企業(yè)，在芯片、功率器件、MEMS傳感器等產(chǎn)品的成分分析與可靠性驗(yàn)證方面積累了豐富案例。

   
   

• 研發(fā)支持：精準(zhǔn)的成分?jǐn)?shù)據(jù)助力新材料開發(fā)與工藝優(yōu)化。

• 質(zhì)量監(jiān)控：嚴(yán)格的來料檢驗(yàn)與過程監(jiān)控，確保供應(yīng)鏈質(zhì)量穩(wěn)定。

• 可靠性驗(yàn)證：全面的可靠性測試與失效分析，提升產(chǎn)品市場競爭力與客戶信任。

• 問題診斷：快速的失效根因分析，助力質(zhì)量問題閉環(huán)，降低風(fēng)險成本。